Descripción general
- Tipo compacto de alta pureza con accesorios integrales
- Las dimensiones de la base de montaje cumplen con la norma SEMI F65-1101 (excepto para LVD10)
- Nuevo cuerpo de PFA
- Posibilidad de tuberías desde 4 direcciones
- Variedad de tamaños de tubos disponibles




